電子後方散乱回折(EBSD)システムの主要構成要素

通常、EBSD システムは、以下のような構成になっています。

SEMチャンバーに搭載されたEBSD 検出器、ならびに EDS 検出器
SEMチャンバーに搭載されたEBSD 検出器、ならびに EDS 検出器を示すアニメーション。EBSD 検出器の中には、図のような昇降制御が可能なものもあり、サンプル対検出器のジオメトリの汎用性を高めています。
代表的な EBSD データ収集ソフトウェアを示すスクリーンショット
EBSD ソフトウェアは、電子ビーム制御からパターンインデックス作成までの収集プロセス全体を制御し、EBSD データの詳細な照会を可能にします。

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