CMOS 検出器の機種

Oxford Instruments CMOS EBSD 検出器のノーズセクションを示す模式図

電子後方散乱回折(EBSD)検出器は、おそらくあらゆるEBSDシステムにおいて最も重要な構成部品です。2017年に発売されたSymmetry EBSD検出器は、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)センサーを使用した最初の市販EBSD検出器となり、並外れた分析速度と回折パターン分解能の比類ない組み合わせを実現しています。2018年、オックスフォード・インストゥルメンツはその後、CMOS検出器シリーズを完成させるために、C-NanoとC-Swiftという2つのEBSD検出器を追加発売しました。3つの検出器はすべて、独自の光ファイバーレンズシステムとカスタマイズされたCMOSセンサーによって提供される、市場をリードする感度を特長としています。光ファイバーと感度の重要性については、こちらで詳しく解説しています。

最新のSymmetry S3検出器の発売により、最大分析速度が5700パターン/秒(pps)以上に向上し、わずか数秒で材料の特性評価を行うことができます。各検出器の主な特長については、下記をご覧ください。また、Oxford Instruments NanoAnalysisの主な製品ページもご覧ください。

Symmetry S3は、市場で唯一のオールインワンEBSD検出器で、先進のCMOS技術を採用した世界初のEBSD検出器である革新的なSymmetry検出器をベースにしています。あらゆるEBSDアプリケーションに対応する非常に優れた性能に加え、使いやすさと革新的な設計機能を備えています。主な特徴は以下の通りです。

  • 最速5700 ポイント/秒を超える指数付け速度を保証
  • 1244 x 1024 ピクセル分解能 – 高角度分解能 (HR) EBSD に最適です
  • サブピクセルの歪みのみを持つ独自の光ファイバー結合
  • あらゆる分析に対応する超高感度。
  • ソフトウェア制御による検出器のチルト機能

詳細は、Symmetry S3 製品ページでご確認ください。

fibre-optic coupled Symmetry S3 EBSD Detector

このプロモーションビデオで、Symmetry S3 検出器の多用途性と性能をご自身の目で確認してください。

C-Nano+は、多用途で効果の高いEBSD検出器です。Symmetry 検出器がもたらした革新的なテクノロジーは、C-Nano+にも搭載され、クラス最高レベルの性能をエントリーレベルで実現しています。C-Nano+はあらゆる種類のサンプルの特性評価に適していますが、その高いピクセル分解能により、詳細なひずみ解析や、複雑で難しい材料のルーチンワークにも最適です。特徴は以下の通りです。

  • 1244 x 1024 ピクセルのフル解像度パターン – 高分解能 EBSD に最適
  • クラス最高速の 600 pps の収集速度
  • 低エネルギー・低電流分析に極めて高い感度を実現するファイバー光学系
  • 歪みのない回折像
  • 非接触型衝突回避システム

詳細は、C-Nano+ 製品ページでご確認ください。

fibre-optic coupled C-Nano+ EBSD detector

C-Swift+は、日常的な材料解析や 高いスループットのサンプル特性評価用に設計されたCMOS検出器ファミリーの新製品です。

C-Swift+は、SymmetryがEBSD検出器として画期的であった多くの特徴を備えており、もちろんEBSDのためにカスタマイズされたCMOSセンサーも搭載しています。主な特徴は以下の通りです。

  • 2000 pps の指数付け速度を保証
  • 250 pps における 622 x 512 ピクセル EBSP
  • 低エネルギー・低電流分析に極めて高い感度を実現するファイバー光学系
  • 歪みのない回折画
  • 非接触型衝突回避システム

詳細は、C-Swift+ 製品ページでご確認ください。

fibre-optic coupled C-Swift+ EBSD Detector