Electron Backscatter Diffraction

様々な材料のサンプル調製レシピ

サンプルによって調製方法が異なるため、すべてのサンプルに有効な唯一のソリューションはありません。以下の表は、様々な種類のサンプルに関する一般的なガイドラインで、以下のリソースには、特定のサンプルや調製方法の例に関する情報が含まれています。

機械的研磨
分析法	標準メタログラフィック研磨	コロイダルシリカ	振動子	電解研磨（機械的研磨後）	イオンミリング (理想的には機械的研磨後)*
金属
単相	✔	✔	オプション	✔	✔
多相	✔	✔	オプション	いいえ、優先的なエッチングが発生する可能性があります。	✔
軟質金属（例：Cu、Al）	✔	✔	非常に便利	非常に便利	✔
鋼	✔	✔	オプション	✔	✔
セラミック
単相	✔	✔	非常に便利	不要	✔
多相	✔	✔	非常に便利	不要	✔
地質学的
多相	✔	✔	非常に便利	不要	✔

*イオンミリングは機械研磨後の実行が理想的です。未調整サンプルでも可能ですが、粉砕時間が大幅に長くなります。

eラーニング

アプリケーションノート - 金線のEBSD解析へのナノマニピュレーションの応用

このアプリケーションノートでは、オックスフォード・インストゥルメンツのOmniProbeツールとAZtec EBSDシステムを組み合わせて、直径5μmの金マイクロエレクトロニクスワイヤサンプルの操作と分析を行う方法について説明しています。

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Application Note - Evolution of EBSD Patterns during Sample Preparation

This application note describes how EBSD patterns evolve during various mechanical polishing stages of duplex steel and sintered alumina as well as electrolytical polishing of the duplex steel sample.

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Technical Bulletin - Sample preparation for EBSD Analysis

This technical bulletin describes some simple recipes outlining the techniques sample preparation for EBSD Analysis.

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Poster - Advanced EBSD sample preparation using Broad Beam Argon Ion Milling

This poster shows how Broad Beam Ion Milling has been used to produce excellent samples from zirconium and magnesium alloys and galvanized zinc coatings, usually difficult to prepare by mechanical routes only.

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Poster - Evolution of EBSD Patterns during Sample Preparation

This study is an attempt to illustrate how EBSD patterns evolve through the various metallographic preparation steps using duplex steel and alumina samples as examples.

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Poster - Microstructural Characterisation of an Automotive Spark Plug using EBSD

This study illustrates the methodology for
mechanically polishing an automotive spark plug, utilising both bright field and differential interference contrast optical microscopy to assess the surface condition, prior to SEM/EBSD characterisation.

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